�й�������ѷ
��ҵ����
��ݸ�п�������װ������˾��ǰ��������2009��6�£�ϊ��ӧ�ͻ����ܻ����զ���������ĥϵͳ����2019��3��ע���������ݸ�п�������װ������˾����ע���ʽ�1180��Ԫ����˾�����ڷ羰������ͬɳ��̬������107����ݸ��·�σ���ͨ�����������š���������˾�����������⼼�����˲ţ���ƿ����ġ�˫�������������ﵽ����������ˮƽ��������ĥ������ƿ�����������������ҳ�ﵽ��������ˮƽ��
��˾����ְա50���ˣ�ӵ��רҵ���½ṹ��ƹ���ʦ2�����զ�������ʦ2�������н�ǿ��ʒ����������������������ƿ���������ӵ��ɰĥ����ҵ���꾭���װ�乤��ʦ5������֤�豸װ�侫�ȣ����������豸�ȶ��ԣ���լ��ҵ��г�����������ɹ����˹��ɱ������ӣ���˾һֱ��ֹؼ����������е�ܷ⣬�ȣ����ý��ڣ��ؼ������մɡ������ṹ��ѡ�ù������ʹ�ӧ�̣����ڲ��ӹ���, ��֤�豸�ij־������ժ��ȶ��ԣ�ϊ�ͻ���լά��ʱ��ɱ���
ŀǰ����˾��ƾ�������������ƣ������ⲿ��դ���ż��ڲ����������ͽ��ش��£�����ʒ�������ľ�ӫ�������������ͻ�����������ڴ������ͽͻ���������������δ����
���ֲ�ʒ����
01��kgb-d ��ч����ɰĥ��
����ʽ��ĥ�ṹ������ʽɰĥ��ч�����2����
��̬���� ��̬ɹ������ṹ���������ʺϸ�ճ�����ϼӹ������»���
��ȴϵͳ��ƹ�������������ѧԭ��������ѧԭ�������կ���ʹ���ͻ��£���ч������ĥ�¶ȡ�
�����ܷ⼼������ȫ�ɿ�������������ͬ�����ܼ�����ֹ��й¶���������ʧ��
ѹ�����¶��զ�����װ�ã�ʹ�ø���ȫ��
����ʿɹ�ѡ����ڲ��ṹ�����㲻ͬ��������
��ѡ����������plc������������
02��knb-l ˫���������װ���ɰĥ��
����ʽ����ϵͳ�ܹ�ʹ��0.03mm��ĥ�飬����100nm���µij�ϸ��ĥ��
ȫ�·���ṹ��ƣ��˷������ķ���ϵͳ��й©��ĥ������⡣
��ɸ������ϵͳ�������»���
������ĥ�ṹ����ĥч�ʸߣ����������ȷֲ������ȡ�
�����ܷ⼼������ȫ�ɿ�������������ͬ�����ܼ�����ֹ��й¶���������ʧ��
ѹ�����¶��զ�����װ�ã�ʹ�ø���ȫ��
����ʿɹ�ѡ����ڲ��ṹ�����㲻ͬ��������
��ѡ����������plc������������
03��knb-s ���װ���ʽɰĥ��
�ܹ�ʹ��0.1-0.2mm��ĥ�飬����100nm���ϵij�ϸ��ĥ��
������ת�ӵ��������������ѧ ����ѧ���գ�ת�ӻͱ�������ĥͱ��֮��ļ��7-13mm�� ��ĥч�ʸߺ����ȷֲ�խ ��
�����ɸ������ϵͳ�������»���
��ȴϵͳ��ƹ�������������ѧԭ��������ѧԭ�������կ���ʹ���ͻ��£���ч������ĥ�¶ȡ�
�����ܷ⼼������ȫ�ɿ�������������ͬ�����ܼ�����ֹ��й¶���������ʧ��
ѹ�����¶��զ�����װ�ã�ʹ�ø���ȫ��
����ʿɹ�ѡ����ڲ��ṹ�����㲻ͬ��������
��ѡ����������plc������������
04��knb-s ��ʵ�������װ���ɰĥ��
