һ���˽��й���ѧժ΢���������뼯�ɼ����ص�ʵ����-pg电子游戏网站

�й�������ѷ 

ʵ���ҹſ�

�й���ѧժ΢���������뼯�ɼ����ص�ʵ���ң�����ص�ʵ���ң��ǹ��ݹ����ش�����΢��������ǰ���о��ķ�չ���ơ���ѧժ��ϣ����ķ�չս�բ��ֺ�΢���������г��ڷ�չս����������ɡ��ص�ʵ���ҿ۽��ҹ�΢���ӳ�ҵ������չ���ش�ս�������������΢����ǰ������χ������΢���������������еŀ�ѧ���⣬�խ����ϣ�洢�����������估���ܺĵ�һϵ�йؼ���ѧ��������ϊͻ�ƿڣ��ص㿪չ��һ��΢���������������׼ӹ��ͼ��ɼ����ļ����о�����ǿ���ʹ��ڵŀ��ź�������ǿ����������ǰ�ؼ�����֪ʶ��ȩ�������ڹ���ǰ�ش���ⱥ����ռ��һϯ֮�أ����ҹ�΢����������г��ڷ�չ�з����ȵ��դ��º���ƽ̨���á�

�ص�ʵ���ҿ��н��ƚ������׼ӹ��豸�͹����ߣ�ӵ��ʮ�����򼶳�����5000��ƽ���ף��ѿ߱�����һ�������׼ӹ����о�������ŀǰװ���зֱ���8nm��jeol jbx-6300ls���������ϵͳ���ֱ���30nm��jeol jbx-5000ls���������ϵͳ���ֱ���350nm��mebes 4700�������ư�ϵͳ����ѧ�ư�ϵͳ������������ӵ�й�ѧ�ٽ�чӧу������caprox�������п�����һϵ��ӧ�������׼ӹ�ͼ�λ����յ�tcadӧ�������������˹��������ngl��ģ���ƶ㡣

ͬʱװ���е�������ĥϵͳ�����»�ѧ�������pecvd��ĥ�ʊ�ϵͳ��ԭ�ӳ����ald��ĥ�ʊ�ϵͳ�����������䱡ĥ�ʊ�ϵͳ����ѧ�ع�������ܶȵ�������icp��ʴ�����ӹ��豸���լ���ƫ�ǡ�̨���ǵ����׽ṹ�����豸�������������׳߶���������·�ṹ�ĵ�ѧ���ܲ���ϵͳ���������нṹ��ѧ���ܲ���ϵͳ�լ��������բ���ϵͳ���������׳߶ȳ��ϡ��ṹ�������͵�·�ʊ����������ԡ����⻹ӵ���й���ѧժeda���ģ��������й���ѧժ΢�����о������ḻ����ơ�ģ����漰������������֧�֡�

�ص�ʵ���ҿ��д������׼ӹ��ķḻ���顢���������͹���ƽ̨�豸֧�������������ײ����ʊ������׽ṹ�ӹ������׳߶�������·�ʊ������ܱ���������о������տ��������ͼ߱���ʵ������

δ����΢���������뼯�ɼ����ص�ʵ���ҽ���ַ�������ѧ�����ƣ���������ȫ����΢���ӽ����з��ŀ�����ƽ̨��ϊ��ҵ���ṩ�����եij�ʒ���������������е�֪ʶ��ȩ�������豸����ϵĺ��տ�������֤����ط���ͬʱ������ѧ������ķ�չ�����һ֧����ˮƽ�ĵ����ŷӣ�ϊ�ҹ��������ŀɳ�����չ�ʹ��¿�խ�춨������

�����

�й���ѧժ΢���������뼯�ɼ����ص�ʵ���ҿ�չ���ʹ洢���߼��������²��ϻ���ԭ�����������׼��ɼ�����ӧ�û����о�����������ҫ���ʵ�λ��΢���ӽ����о�ƽ̨���ƶ��ҹ�΢���ӳ�ҵ�ĵ��·�չ���ڽ�������ش������ϸ��ӳ�����������á�

1�����׳߶ȴ��������ģ�ͼ�eda�������о����׳߶ȼ��ڵ��ӡ������ȳ�ͬ�������ƶĵ�������������������ģ�ͣ���չ��������ԭ����ģ��ƽ̨����������ģ�ͼ���·��ƹ��ߡ�

2�������ܼ��͹����������·������finfet�������߾���ܡ���������ܡ����ͷ���ʧ�洢������-��һ�������������߼���洢�������������ȡ�

3����ԭ�����������췽������չ��������⡢�������ԭ�����·������������ڵ��ӡ����ӡ���чӧ�ȳ�ͬԭ���ı����������ͳɱ����׽ṹ���켼���������̵ȡ�

4����ԭ��΢�������빦���ںϣ�����ͬ�������ʼ��ɡ�ͬ�����칹���ɡ������ںϣ���չ�ͳ�խcmos�ȡ�

���������

������һ�����ʹ洢���߼������������ƚ��洢�����ƚ��߼�����������

�����о�աϊ�����鳤����ҫ��ա�����������о�ա�������о�ա���÷�о�ա�������о�ա������ƽ�о�ա���������о�ա�����������о�ա��¬��˸��о�ա���ͻ�˳���о�ա�����߲����о�ա����츱�о�ա���޾����о�ա�������¸��о�ա���ŷ帱�о�ա���ｨΰ���о�ա���ˡ�

����������²��ϻ���ԭ������������������͹������ϡ����ʽ������뼯�ɡ�ϩ��������gan���������ĸ��о�����

������о�աϊ�����鳤����ҫ��ա������ʢ�����о�ա����ɭ���о�ա���ŵ��¸��о�ա��������о�ա�������о�ա���ˡ�

�������������׼��ɹ��գ���ҫ�ǽ��ɼӹ�������ӧ�÷���

л�����о�աϊ�����鳤����ҫ��ա������ч�����о�ա��ʷ���ȸ��о�ա����һ�ڸ��о�ա����溸��о�ա�������丱�о�ա���ˡ�

���гɹ�

�й���ѧժ΢���������뼯�ɼ����ص�ʵ�����ⱥ�е��ͳ����˶�����ҿƽ��ش�ר�863��973���п�ժ�ش�װ������ȼ������⡣��5�귢������300��ƪ������ieee edl 30ƪ��ieee ted 5ƪ��nat. commun. 2ƪ��nano lett. 1ƪ��adv. mater. 2ƪ��adv. funct.mater. 2ƪ��acs nano 1ƪ��prl 1ƪ��small 1ƪ��opt. lett 8ƪ��apl 29ƪ��nanotechnol. 5ƪ��carbon 1ƪ������ӱ�����ӵ���8����9ƪ��3ƪ�����է������·������о��ɹ�����������ѧ��д��7��ר����40ƪ�����с�������adv. mater. 2012��ieee edl 2013����ƪ����nano lett. 2009��ieee edl 2009��ieee edl 2008�ϵ���ƪ������ѡhighly cited paper��top 1%�����ص�ʵ���ҳ�ա�ڱ�������ҫ���ʻ��������뱨��35�σ�����β�����ʻ������֯��38����ȩ����ר��ת����о���ʣ�1�����ɽ����гϣ�2�����ɳ�������295��洢������ר�����ɸ��人��о��1203��ר�������ɷ�6170��Ԫ����3����ȩ����ר��������ת����ʽ�����ĵ���ݽ�ƽ��ɷ����޹�˾����5���ٻ���ҽ����������ƚ�2������пƽ�����һ�ƚ�1������пƽ��������ƚ�1����й���ѧժ�ܳ��ɾͼ��影1�

�о��һ����������������ѧ����˾��չ�����о������ͻ����˲����������ϻ���������о���ʡ��人��о�ȹ����ƚ��뵼�弯�ɵ�·оƭ������ҵ��չ��Ԫ�����ڡ���ч�ŀƽ��ɹ�ת��������ϊ���������ټҹ߿ƽ���˾����у���з������ṩ�ư�͹���֧�ŷ���

ʵ���ҹ���ƽ̨

��ѧ��ģ����ƽ̨������ֱд�͸��ٵ������ع����ϣ��з�����ģ����ij��׼������γ���6�ֹ��ĺ�ѧ��ģ��ʒ������8�������ڵ㣬��ʒ�û�����ȫ�������ڵ�ŷ���ȹ��ҡ����ƴɹ������׿�6ӣ�缫��������ģ��

���������ӹ�ƽ̨�������˹�̡���ʴ����ĥ�������ĸ���ƽ̨����չ�˵ͳɱ����߷ֱ��ʺ͸�ч�ʼ�˵����׽ṹ���켼�����з������⸴��ͼ�ρ���������߷ֱ��ʡ���߿��ȡ��߱����΢�����������ɼ�������������չӧ�ã��γ���с��������������

��ѧ����ƽ̨�������˰뵼������iv��cv��pulsed iv��charge pumping�� rtn�ȳ��漰�ɿ��բ���ƽ̨�������˿�������iv����ģ���rram�洢���в���ϵͳ���߱��˺��ǰ뵼�嵥�������뼯�ɵ�·ϊһ����ۺϲ���������

������դ���й���ѧժ΢�����о�������

���й��������༭����/ƽ����

ע��ͼƭ����ҵ��;��������ȩ��֪ɾ����