�й�������ѷ ����ʯ�������õĺ�ѧ����ѧ��������ܺ���������ѧ���ܣ�ͬʱ���������ļ�ѧ�ȶ��ժ����ȶ������լ����������ܣ���һ���ۺ����������ķ�ܾ�����ϣ��㷺ӧ���ڰ뵼�����ӳĵײ��ϰ��������سĵס�soi�ĵף�sos������ѧ�����լ�������ʲ��ϵȡ�
��ͼƭ��դ�����磩
����ϊ����ʯ�����ر��ȶ��ļ�ѧ���ʺͺܸߵ�ӳ�ȣ��������������ʯ���ϵļӹ��ѷȡ�����ʯ��ƭ�ӹ������������༼����ս�����оͱ�������һ���չ��̡�
����ʯ��һ�е���ҫ�ɷ���ĥ�ϡ�ph���ڼ���������լ������ϼ��ȣ���һ��ӱ��cmp����ѧ��е�⣩ч������ҫ������֮һ��������һ���ܺû���ָ���������ժã���ɢ���ȣ��ڹ涨ʱ���ڲ��ܲ����žۡ��������ֲ�����⣬ĥ���������ܺã������ʿ죬����θ����ɫ�����ȡ�
���у�ĥ����ҫӱ�컯ѧ��е���еļ�е���á�ĥ�ϵ�ѡ����ҫ��ĥ�ϵ����ࡢũ���լ������������������ǡ�ŀǰcmp��һ�г��õ�ĥ����ҫ�н��ʯ����������������ȵ�һĥ�ϣ�ҳ��������/���������ĥ���լ��˿��͵ĸ���ĥ�ϵȡ�
������ĥ�ϱ���ϸ�壬�ʵؼ�ӳ����ĥ�ժã���ʴ�������ڶ��ֲ��ϵı�����ĥ�������������õľ������������ħ�-al2o3ĥ�ϡ�������ĥ�ϵ�ȱ���ƿ�ɢ�ժ�ѡ���խϲ��һ��ճ�ȴ�����θ���������ڦ�-al2o3ĥ�ϵ�ӳ��������ʯ�����������������թ�����������µ����ˡ�������������ĥ�ϵ����������ڶ�������ĥ�ϣ�led��ҵ���г�ǰ��������δ��al2o3��һ��cmp�е����û������ҫ����щ������������һ���о�������ҫ����������ĥ���ʊ�����������������լ���������һ���ӧ�õȷ��档
��������ĥ��ӳ�����с�������с�ɿأ���ѡ���ժã����ʊ��ɷ�ɢ���������ĺ��ܽ����㷺ӧ���ڵ����衢sio2���ʲ㡢��п�ӿ��塢�ѻͻ������ͻ�ͭ������ʯ����ȳ��ϵľ����⡣�����ķ������������ըߣ��ܹ�������ʯ����-al2o3�����淢�����ѧ��ӧ�����ʵؽ����ķ�ӧ�㡣���������ī��ӳ��ϊ7����ӳ�ȸ��ڷ�ӧ���ӳ���ҵ��ڻ�����ϵ�ӳ�ȣ������������м���ȥ����ӧ�㣬�ֲ���ի����������µ����ˡ�
�������ϵķ��������о�����ϊ��ŀǰ����ʯ����ҵ�������õ�������ϊ��һ�����õ������ĵֲڶȣ�ra�����ԣ�����0.3nm���¡���������у�����������һ������ʯ���淴ӧ���ɹ������ķ�ˮ�����
��������������ĥ�ͽ�����ϊ����ʯ��һ����������������������������ĥ��һ����ͨ�����ա���ĥ��ɸѡ���ã�ҫ��õ�����һ���ժá������ﵽ���������������������ѡ���������������������ӳ�ȴ�����滮�����أ�ճ�ȴ�����治����θ�ɾ������ѱ�֤����ϵı���ƽ���ȡ�
����ҳ�б���������������ϊ��һ����ŀǰ���������σ���ҫ���ڵ������у�
(a)���豸��ת��ҫ��ϸߣ�
(b)����ʯ����ֲڶ���խθ�
(c)����ȱ���զࣻ
(d)�ɱ��ϸߡ�
�ο����ϣ�
���ܳ�������ʯ����ĥ������ѧ��е���о�������������ѧ
�ű����������룺����ʯ��ƭ�ӹ��еļ����ؼ��ͷբߣ��ӱ���ҵ��ѧ����е��ӳ����������ص�ʵ����
ע��ͼƭ����ҵ��;��������ȩ��֪ɾ����
