�й�������ѷ �״��������ƿ������״����ߵ���ҫ����װ�ã������������ȡ�����е���˵����ã��״����������ܵĺû�ֱ�ӹ�ϵ������ϵͳ�ܷ�����������һ���棬�״�������ҫ�ܱ�������ϵͳ���������ӵ�������ӱ�죬��һ���滹ҫ��֤����ϵͳ���źŵĵ���ҫ�������ֲ��ϻ��յ��о��ѿ���ϊ����������о��ȵ㡣
һ������£������ֲ�������������������
�����ľ�����ܣ�
���ȳ�����ܺã�
��ѧ�������죻
�ܶ�с��
���ӹ���
����դ�����磩
���ڵ������ֲ���ϊ�л��ۺ��ｐ����ά֯����ǿ���ϲ��ϣ����ź��պ��켼���ķ�չ�����������ķ����ٶȴ���������ֽ����ձ��ٶȸ��ǵﵽ2ma���ϣ������л��ۺ����ڸ����»��ѽ⣬�ѿ�����ӧ���ٷ��д����ķ��ӻ������л��ۺ��������ʱ������̭��ŀǰ�������������ֲ�����ҫ������������������������ȡ�
�״������ֲ�����ϵ�������
�������մ�
��������������ҵ���ĵ�һ�������մ������ϣ�������β�ߺ���ȸ��ȵ����ϵõ��˳ɹ�ӧ�ã�����ҫ�ŵ���ǿ�ȸߡ�ӳ�ȸߡ�����ʴ���ܺá�ȱ���ǽ��(��=9.6)���ܲ������ϵ��(����8.4��10-6��-1)�͵���ģ���ϸߣ�ȱ���㹻�ŀ��ȳ�����ܡ�
ʯӣ�մ�
ʯӣ�մɾ�����խϵ͵��ܶⱥ�������ϵ����ʹ���ȷ��������뿹�ȳ�����ܽ�ϊ���ڣ�����ʯӣ�մɵľ��������糣���ϵ͡��ľ�糣����ϊ3.4��������tan��ϊ0.4��10-3�����������у����˸���ͬ���ƚ�bn�⣬����ʯӣ�մ�ϊ�����������ϊ����ij��ϣ�������ձƚϳ��죬���ʊ���ͬ��״�ͳߴ��ʒ��������ʵ�֣�ŀǰ�ѿ��ɹ�ӧ���ڷ��յ��������ֲ��������ڹ��ڣ�ɽ����ҵ�մ��о����ժ���ö�̬ע�������պ߾��ȵ�ӧ����ӹ��������ϣ��ʊ���ʯӣ�մ������֣���ʵ����������������
���ǣ�ʯӣ�մɵ�����ҳ�ƚ����ԣ������ǵ��բ��ϣ��俹��ǿ����խϵͣ���������ϊ1.0mpa��m½���ֿ��������ƻ��������ϲ�������£�1200�棩�բ������ʴ�����������ֲ��ϵ�ӧ�ã����ܹ��������������յ�������������ϣ���ҳ�����㱡�ڽṹ�߹��ص�ʹ��ҫ��
ī��ʯ�մ�
ī��ʯ�մ�ϊal2o3-sio2��Ԫ��ϵ��ψһ�ȶ����ڵļ������ѧʽϊ3al2o3��2sio2��ī��ʯ�մɾ��и��۵�(1870��)�����ȵ���(5.48w/(m��k))��������ϵ��(20~400�棬ƽ��ֵϊ4.2��10-6/k)���͵���ģ��(200gpa)���ͽ�糣��(25�棬1mhz��ϊ6.4~7.0)�������������¸��ȳ��������ӷ�װ���ϡ��ƚ��������������⾧����ϡ������ϵȡ�
�������մ�
������ϵ���մɣ������衢�����𡢵�������ȣ������������õľ�����ܣ���ʯӣ�մ���ȣ�����ѧ�����լ����µȷ��������ɱ�������ƣ����ڶ��о������������������˴������о���ŀǰ������������������ǿ�����ƴ�bn/si3n4�����ϣ����������ָ��ϲ����ʊ����˴ﵽʵ�û�ˮƽ�ĸ����������������֡�
�������մ�(һ��ָ����������h-bn)���к����ƶij�״�ṹ�ҳ����֮���խ���������ķ��»������ϣ�ʹ����е�ӳ�ȡ����ժá��͵���ģ�����ɼӹ������������ԣ����⣬�������լ��ͻ�ѧ��ʴ�ժò��ҿ��������ĵ��ե�ԣ���˱��㷺ӧ���ں��պ��졢ұ����������������������ľ�����ܣ���������ѧ����ƫ�͡����ȵ��ʡ��ϲ�ŀ���ʴ���ܵ����ƣ�ʹ�õ���bn�մ���δ�������ֲ����ϵõ�ӧ�ã�ŀǰ�о��϶����bn��ά�լ�bn���ϲ����������ֲ����ϵ�ӧ�á�
si3n4�մɲ��������������ѧ����(ǿ�ȸߡ�ӳ�ȸ�)���������¡����ȳ����������������ʴ�������ã��������еľ�����ܣ�������georgia�����о�����ϊ����ϣ���������ֲ��ϡ�ȼ���������������������ϵ���ԣ�si3n4�մɵ���խ�糣���ϸ�(����10ghz�£���խ�糣��ϊ5.6����ľ�����ֵϊ0.0040)����θ�����������լ�������ܳ�ϊ�о��ȵ㡣
��������(si2n2o)�մ���һ���ۺ���������ĸ��½ṹ�մɲ��ϣ���������խϵ͵������ܶ�(2.81g/cm3)���ϸߵ�ӳ��(17~22gpa)���ϵ͵ľ�糣��(20�棬10ghz��ϊ4.80)���ϵ͵�������ϵ��(3.5��10-6k-1)�����õŀ��ȳ�����ܼ����������ܡ���ѧ�����ȶ�������si3n4�����������ܣ�ʹ���ں��պ��졢���ܵ�������й㷺��ӧ��ǰ�������ڳ����ٷ������ϻ��ӧ�õ�si2n2o�����ϲ��ͼ������õľ������(20�棬��糣��ϊ4.78����ľ�����ֵϊ0.0014)������ǿ��ϊ190mpa��ӳ�ȴﵽ��ʯӣ�մɵ�2~5����
��¡�մ�
ϊ�ۺ�si3n4���õŀ����������լ�al2o3������ս��ԣ�ӣ���մ�ѧ���լ��ձ�ѧ����1971~1972���������al2o3���թ��ܵ���-si3n4�������γɹ�������һ����si3n4�е�si��nԭ�ӿɱ�al2o3�е�al��oԭ�ӳ����û��γ��û������壬û�������µľ���ṹ����ӧ�ľ����ߴ���������һ����si-al-o-nԪ����ɵ������մɲ��ϣ�����¡�մ�(sialon)��
����ͨ�õ���(ge)��˾����20����80����з������������ͳ���gd-1���ɷ����ϊsi6-xalxoxnx(x��2)��ʹ���¶ȿɸߴ�1510�棬������������������ǿ�ȼ����������ܣ���10ghz�½�糣������ľ�����ֵ�ֱ�ϊ6.8��0.001��
�ο����ϣ�
����.����-��һ�廯si3n4���մɲ��ϵ��ʊ���ṹ���.��������ҵ��ѧ
��ц��.���ͷ���մ������ֲ��ϵ��ʊ����������о�.�廪��ѧ
��с��.�մɻ�ƶ��ѡ������������ʊ�.���ӿƽ���ѧ
����.�����鷨�ʊ�����մ������ֲ��ϼ������о�.������ͨ��ѧ
ע��ͼƭ����ҵ��;��������ȩ��֪ɾ����
