�й�������ѷ ��ѧ��е��(chemical mechanical polishing��cmp)�������ṩȫ��ƽ̹���ı��澫�ӹ�������������һ��cmp�����еĺؼ����ء���һ��ҫ��ĥ�ϡ��ܼ������ӽ���ɣ������ࡢ���ʡ�������с��������ɢ�ȼ��ȶ��ե���������ч��������ء�
ŀǰ�г���ʹ����ϊ�㷺�ļ���ĥ����sio2��ceo2��al2o3�����у�sio2��һѡ���ԡ���ɢ�ժã���еĥ�����ܽϻã���ѧ���ʻ��ã����һ���θ���̴��������ף�ȱ��ϊ����������ײ�����������ӳ�ײ��������ʵ͡�ceo2��һ���ŵ��������ʸߣ�����ȥ�����ʸߣ�ȱ�����ȴ����ˣ���ѡ���բ��ã�������θ���ѡ�al2o3��һ��ȱ������ѡ���ե͡���ɢ�ȶ��բ��á����ž۵ȣ�������ӳ�ײ�������ʯ�ĵ�ȴ����������ȥ�����ʡ�
��������һ���
��-������������ӳ�ȸߣ��ȶ��ժã������������������ڹ�ѧ��ͷ����о���������������塢�������ȵľ����⣬ӧ���൱�㷺����ǰ���ը�����gan������ledϊ���ĵi뵼�������������������������˺ܴ�ĺ䶯������ϊȫ��뵼�������о����ȵ㡣��gan�����ʊ��������������ĵ�ƭ������������ĥ��������ʯ��ƭ��̼���辧ƭ����˾�ƭ����ҳ��ϊ��ע�ľ��㡣
�������������ϲ�����һ���µĺ��գ�������������һһ���������ʯ��̼���辧ƭ����ĥ���⣬��������ч�ʡ��������������צ�-��������ӳ�ⱥܸߣ������ʱ�թ�������������ص����ˣ����������������ı����ܱƚϸߣ��������žۣ�ҳ���������ļ��ۡ����ӵȱ���ȱ�ݡ�����������������һ���о���ҫ����������ĥ���ʊ�������������������ԡ���������һ���ӧ�õȷ��档
ͼƭ��դ������
��������һĥ�ϵ��ʊ�
�ڻ�ѧ��е����ʹ�õ�������ĥ�ϣ���ѡ��ӳ�ȴ������ȶ���������ˮ���������������צ�-����������ϊ��ѧ��е��ĥ�ϣ������������ĵ�с����״�����ȷֲ���ӱ����ч������led��ҵ��cmp��һ�г�ѡ������50∼200 nm�������ֲ����ȵ����צ�-���������������Ԧ�-������ĥ�ͽ������о���ҫ�������������ο������ʊ��ϡ������ʊ����������¼��֡�
���෨�����е���������ƚⷨ�������ݶ�������ը�����dzƚϳ�����ʊ����������෨�ʊ���ϸ��������̼������ܼ������ʽϸߣ������ɵķ����ײ����žۣ������ȳ����ƣ����եõ��ֲ����ȵ�с�����ĸ����������塣
���෨����ҫ�л�ѧ�����������ͨ�����ȵȷ�ʽ�ı�������̬��������״̬�·�����ӧ��֮������ȴ�������γɿ��������෨���ŵ��ƿ�ӧ�������կ��ơ��������ƣ�������ɢ�ժá�����с���ֲ�խ���������ʵͣ���ĩ���ռ���
һ�෨����������ˮ�⡢��������ܽ��������黯�ȼ��ַ�����һ�෨���ŵ������ڣ��ɾ�ȷ���ʋ���ļ�ѧ��ɣ��������ӵı�����ըߣ���״�����ʒ�ɢ���ȣ������ɱ��ƚϵͣ�����ʵ�ֹ�ҵ��������
ͼƭ��դ������
�����������һ�ȶ��եķ���
����������led��ҵ�ķ�չ����ʯ�ĵ���������������������һƾ��ϸߵ�������������ʯ��һ���кܺõ�ӧ��ǰ����ȼ����������һ��������д��ڷ�ɢ�ȶ��բ��������׳�����������ʹ������ֻ��۵����⡣�������о��߶������������һ�ȶ��խ������о���
���������������ڼ��ե�ˮ��һ�у����������������ܾ����������÷����žۣ����׳��������ֲ�������ƻ���һ�ķ�ɢ�ԡ��ȶ��ԡ���ĥ�ͽ������ž���������ĵ�������ţ��ǻ�ѧ��е������гĵױ�����ֻ��۵���ҫԭ��������������������с���ֲ���zeta��λ���լ���һ�����ȶ��������������������һ�ȶ����нθ��ӱ�졣
������������������կ���߿����������ȣ������⻮�ۺͱ��ӣ�ͬʱ���������ĥ�ϸ�ɢ�ⱥ���һ�ȶ��ԡ������ĵ�������ϊ����ż�������л���������ӳ�ƚϸߵ����������ӱ������һ������������լ����⻮�ۺͱ��ӵ�ȱ�ݣ�����������������һ���ȶ��ժͷ�ɢ�ԣ�ͬʱ����ч�����ĥ�ϵ���ĥ���ܡ����⣬������ͨ���ı�����������zeta��λ�������һ���ȶ��ԡ�
al2o3��һ���ڵ�����
ĥ�����ӵķ�ɢ���⡣ŀǰ�������ⳣ�ó���������е���衢���洦���ȼ�е��ѧ����������ĥ�����ӽ��з�ɢ�����������ﲻ��ч������ˣ�����ĥ�����ӵķ�ɢ�ȶ�����ҫ��һ�����о���
��һ�ի�����ӱ�졣��ѧ��е��һ�еļ�ѧ�ɷ֣��簱������ж��ɷֶի�����������˺��ܴ�ϊ�ˣ��ڽ�һ���о���һ�ʊ����յ�ͬʱ����һ��ѭ�����ü���ҳӧ��һ�����ƣ��������÷�չ�뻷��������э����
�ο����ϣ�
������.��ѧ��е��һ�ķ�չ��״���о�����
��ǵ�.��������һĥ���ʊ������ȶ����о���չ