�й�������ѷ 2017��12��12�գ�ϊ������ġ�2017ɰ��ϸ�ӹ���ӧ�ü��������ᡱ�ڰ��շ��������ٿ�������ȫ�����ص�30�����ҵ��չ��15�ҿ��е�λ��120���ʯӣɰ������ҵ��50����豸������ҵ�ͽ�30��ʯӣɰӧ����ҵ�լ����������̾���ظ����˲λᣬ��400λ������۷����������ڵ�һ���ר���ǵļ���һ������������̵�ӡ��
����ڶ��죨13�գ������ʱ���������ݡ�ר������ʯӣɰ��ɫѡ����������լ�ʯӣ��ʒ�ں��պ��졢�뵼���̫������ҵ��ӧ��ϊ���⣬����������������̽�֡�����ϊժ¼���־������ݣ�
�����ˣ���־ΰ���ڣ�����������ѧ��
������ŀ��ʯӣ������լ���
������ڱ����������δ����ʯӣ������֬�����ϣ���ɢ�բ����ײ����žۣ������ա�ӱ��ӹ��������ܣ�����֬�����բӱ����ʒ����ѧ�ȼ�е���ܣ����⣬����˫�����ŵĺ�����ʯӣ������ĸ��լ���ʯӣ���թ����у������ˮ��͵���ʯӣ���������ǹ��եĺ��ģ����թ��������ǹ��եĺؼ��������������ӣ������豸�����ջ��������բ�ʒ����ҫ�ֶσ��в��ɽ��͡�
�����ˣ����ر�����ʦ�������пƹ�磩
������ŀ��ʯӣɰ�ӹ���ɫѡ������ʹ�ü�ֵ����
���ر���ʦ������ʯӣɰɫѡ����ԭ�������죬����ʯӣɰɫѡ����ѡ�͡�ӧ����ʽ��ҫ������̽�֡�����ʦָ��ҫ����ԭ������������ͽ��ﵥ�����ȡ�ʵ�ж�����ĥ��ѡ����ѹ��գ�����ҫ����ϵͳ�ɱ�Ԥ�㣬�ص㿼���豸�������ԡ��ȶ��ե����ء�
�����ˣ��½��о�ա���й���ѧժ�ϸ����ʿ�ѧ�о�ժ��
������ŀ��ʯӣɰ���ᴿ���⼼��
�½���ʦ��ʯӣ������ķ����լ�ʯӣɰβ����դ�ĵ������˼�̽�����ؽ�����ʯӣɰ�ı�����θ�����լ�����ʦ���ֿ�������ҵ�����ĵͳɱ����߾��ȳ��լ������ü�⼼���ij�ʒ���θ��ȱ����������в����м������50%~90%���ϸ��ʴ�30%��ߵ�99%�����⣬�ü�����ч�����ʯӣɰ�ᴿ���̲�����������ij�ʒ��������������⡣
�����ˣ��ⱦ�����ʿ�����ι���ӳ��ͽƽ�����˾��
������ŀ���뵼�弰̫������ҵʯӣ��ʒ����ȼʯӣɰָ��̽��
�ⱦ�����ʿ��ҫ�����˰뵼�弰̫������ҵ����ȼʯӣɰ��ָ�꣬���ͳ�ͬ������ʯӣ��ʒ�����㼰������������̽�֣��ȳ�ʿָ�������ӹ������ʊ�ʯӣ���ϵĺ����в������µ����ʣ����ƕ�ʯӣɰ�е���������ҫ���ȴﵽge214ˮƽ���������ʊ��뵼�弰̫������ҵ��
�����ˣ������߹��������вķǽ�����ҵ����о�ժ��
������ŀ���ߴ���ϸ������
�����߹��ڱ�����ָ���ҹ��ߴ���ϸ���۴����г�������խ��խ����ҫ��խ��խ�ߡ�����ҫ��խ��խϸ��������̬ҫ��խ��խ���λ������ȷֲ�ҫ��խ��խխ�����ơ���˽�����ڹ���������ҵ��ӧ�ø�������ԭ�ϵ����ժ��г�����չ���ƣ��ʵ����ӳ�ͬ���͵ij�ϸ��ĥ�ͳ����ּ��豸����������100nm��200nm�ij�ϸ��ĥ�豸������ӧ�г�����չ����ҫ��
�����ڴˣ�ר���ǵľ��ʱ����ѿ�ȫ�������ˣ��λ�ר�ҡ�ѧ�ߡ���ҵ�������ա�������ԣ����㼺������ʵ�����������������̽�֣�ÿһ�������ա��������у�
�ι�չ��
����ר�ұ��桢ѧ�����������λ�����һ��������dzι�ѧϰ���й���������ϊ���췽��12��13��������֯�����ա�ι��˰��շ���̨����������˾�����հ������²��ͽƽ�����˾��с�ڴ塣
���շ���̨����������˾
̨�����ղ�������˾λ�ڰ���ʡ�����蹤ҵ�ڣ����й���һ������ʒ��������̨�������ӹ�˾֮һ����ҫ��ʒ�у�low-e���������ܲ�������ȫ������������������������������ʽɫ�岣�����űײ�����������ά�����ϰ��ֲ�����ʒ���㷺ӧ���ڹ�������г��еĵر��խ�����������ְ�ȫ�����ʡ��ɹ⡢���ܡ�������װ�εȷ���������ںϡ�
���հ������²��ͽƽ�����˾
���հ������²��ͽƽ�����˾���ɽ��������ع���ƽ���չ����˾�ڷ�����������רҵ����ʯӣɰ�ᴿ���ӹ������۵���ӫ��ҵ�������ع�˾tft������ɰ��ɰ��������ŀ�ƻ���ͷ��լ5��Ԫ����ң��滮�õ����188ķ��һ����ŀͷ��3��Ԫ������15��t/atft������ɰ��30t/a�ߴ�ʯӣɰ�ᴿ��ŀ��ռ��լ130ķ���ܽ������49712ƽ���ף���������tft������ɰ���ߴ�ʯӣɰ��������һ��ƽ�����ʾ���ϵ���ҫԭ�ϣ��г�������ʢ������ǰ��������
����с�ڴ�
с�ڴ����й�ũ��ĸդ�أ��ǡ�����ɡ��������ƾ������դ�أ����й�ʮ������֮һ������4a�����ξ������й��ҹ��塢�й�����ɫ�ų����塢ȫ����̬�ļ��塢ȫ���������塢ȫ����ɫ���������������塢ȫ����������ʾ���塢ȫ���ɲ�������ѵ���أ�ӵ�д���ɼ���ݡ����ͬ־�ƚ��¼����йݡ�����ũ�ҡ���ƹʾӵⱦ��㡣
�����ܽ�
ʯӣɰ����ȼ�������ӧ����㷺�ķǽ�������ԭ�ϣ���ʯӣɰ��ҵҳ�ǵ��͵�¢���г���ȫ��cr5լϊ70%����ȫ��ʯӣ��ʒӧ����,�뵼���г���ռ��ͷ�����������뵼�塢���ˡ���ѧ����������դ�г�ռ�ȷֱ�ϊ65%��14%��10%��7%��4%��
���ҹ�ʯӣ��ҵ���뵼�塢���դ�������г�ռ�ȷֱ�ϊ27%��25%��16%���ա�ȫ��뵼��65%����ռ�ʣ����ڰ뵼���г����кܴ�������ռ䡣�ӱ뵼������г��������й���ռȫ��뵼������г���3.6%��
�������������ҫ�������ҹ������������ߴ�ʯӣɰ�ŀ�դ�ܶ࣬�������ڼӹ������ֶ�����լ�ȱ��ʯӣ����ԭ�ͽ���صŀ���ѧ�����ʳ���ȵ����ѧ����ļ����о�����ʒ���ܴﵽ�ߴ�ʯӣԭ�ϵ�ҫ��
�����ֱ����£�ʯӣɰ��ϸ�ӹ���ӧ�ü���������ijɹ��ٿ�����ҵ����ʿ�˽�ʯӣɰ��ҵ��״������ʯӣɰ��ʒ��߸���ֵת�����ٽ���ҵѧϰ�ƚ��������գ���ȷ��ҵ��ʒ�ӹ�dz����ͬʱ��ͨ��ҵ����������ҵ������湵ͨ������������ӯ����������ˣ���ӱ������զ�ģ����ŵ˴λ�����ҹ�ʯӣɰ��ҵ���ὺ���µ�ƪ�£�
